Hər ikisiVakuum nasosu və kompressorQaz emal üçün qurğulardır, lakin iş prinsipləri və tətbiq dairəsi fərqlidir.
Vakuum nasosunun əsas funksiyası, əvvəlcədən müəyyən edilmiş bir vakuum dərəcəsinə çatmaq üçün konteynerdəki təzyiqi azaltmaq üçün reaksiya otağından qazı çıxarmaqdır. Qaz boşluqdan boşluq və egzoz mexanizmi vasitəsi ilə bir vakuum dövləti meydana gətirir. Vakuum nasosları ümumiyyətlə laboratoriyalar, istehsal və istehsal sahələrində istifadə olunur. Waffer Fabs, ayırma avadanlığı, çökmə avadanlığı, euv litioqrafiya avadanlığı, ion implantasiya avadanlığı, aşkarlanması və səciyyələndirici avadanlıq və s. Bütün ehtiyacları boşaltmaq lazımdır.
Kompressorun funksiyası qazı nəfəs almaq və onu sıxmaq, qazın təzyiqini artırmaq, qazı daha kiçik bir həcmdə sıxmaq və qazın sıxlığını və təzyiqini artırmaqdır. İş prinsipi, işlənmiş klapan vasitəsilə qazı sıxmaq və sonra sıxılmış qazı qaz anbarına və ya digər avadanlıqlara qoymalıdır. Kompressorlar ümumiyyətlə emal və istehsal sahələrində istifadə olunur. Tez-tez danışdığımız CDA qazı kompressor tərəfindən təmin edilir. CDA müxtəlif avtomatlaşdırma avadanlığı və klapanlara nəzarət etmək üçün istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsal üçün CDA çox saf və quru olmalıdır. Kompressor tərəfindən havanın çıxışı, vaffikin çirklənməsinin olmamasını təmin etmək üçün yağ, nəm və digər hissəcikləri çıxarmaq üçün inkişaf etmiş bir filtrasiya sistemindən keçməlidir.
Kateqoriyalar nələrdirVakuum nasosu və kompressor?
Yarımkeçirici avadanlıqlarda quru nasoslar və molekulyar nasoslar ümumiyyətlə istifadə olunur. Quru bir nasos, yağ buferi çirklənməsi problemindən qaçaraq, möhürləmə və ya soyuducu vasitə kimi heç bir maye istifadə etməyən vakuum nasosuna aiddir. Ümumiyyətlə yarımkeçirici avadanlıqların kobud vakuum çıxarılması üçün istifadə olunur. Molekulyar nasoslar son dərəcə yüksək vakuum səviyyəsinə çata bilər. Quru nasoslar və molekulyar nasoslar müxtəlif vakuum səviyyələrinin ehtiyaclarını ödəmək üçün yarımkeçirici avadanlıqlarda birləşmələrdə çox vaxt istifadə olunur.
Kompressorlar piston, vida, mərkəzdənqaçma, fırlanan vane hava kompressorlarına və s. Bölünmək olar.
Vakuum nasosunun və kompressorun müxtəlif dizayn və iş prinsipləri səbəbindən vakuum nasosları ümumiyyətlə kompressorları əvəz edə bilməz. Vakuum nasosları qazların təzyiqini və sıxlığını azaldacaq, qazları daha kiçik həcmlərə və daha yüksək təzyiqlərə sıxışdıra bilmirlər. Bundan əlavə, vakuum nasoslarının məhdud performans və iş xüsusiyyətləri səbəbindən, aşağı sıxlıq qazları və aşağı təzyiqli mühitlərin işlənməsi üçün ən uyğundur.
Buna görə, qazın daha kiçik bir həcm və daha yüksək təzyiqə sıxılmaması lazımdırsa, bir kompressor istifadə edilməlidir. Əksinə, qazın çıxarılması və vakuum vəziyyəti yaranarsa, vakuum nasosundan istifadə edilməlidir.
Hər ikisi dəVakuum nasosu və kompressorQaz emal etmək üçün istifadə olunan qurğular, dizayn və iş prinsipində böyük fərqlər var. Vakuum nasosu qazın təzyiqini və sıxlığını azaldacaq, kompressoru əvəz edə bilməz, xüsusən də qazın daha kiçik bir həcm və daha yüksək təzyiqə sıxılmaması lazım olduqda.
